Sachbegriff |
Sputtern |
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Synonym |
Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung Ionstrahlsputtern Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern Sputterdeposition Sputterverfahren |
Oberbegriff |
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Themengebiet |
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Quelle |
- Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung |
Datensatztyp |
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GND-Nummer |
4182614-0 |
Datensatz-ID |
041826140 |
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