Titel |
Rare-Earth Implanted MOS Devices for Silicon Photonics : Microstructural, Electrical and Optoelectronic Properties |
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Beteiligt |
Lars Rebohle (Verfasser) |
Erschienen |
Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg |
Umfang |
Online-Ressource |
ISBN |
978-3-642-14447-9 |
Land |
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Themengebiet |
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Thema |
MOS, Seltenerdmetall, Siliciumdioxid, Ionenimplantation, Elektrolumineszenz, Photonik |
DDC-Notation |
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Reihe |
Springer Series in Materials Science |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rare-earth implanted MOS devices for silicon photonics : microstructural, electrical and optoelectronic properties |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:1111-20101019281 (URN) |
Weitere Angaben |
Lizenzpflichtig |
Datensatz-ID |
1007704284 |
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