Titel |
Semiconductor-On-Insulator Materials for Nanoelectronics Applications |
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Beteiligt |
Alexei Nazarov (Herausgeber) |
Erschienen |
Berlin, Heidelberg: Springer Berlin Heidelberg |
Umfang |
Online-Ressource |
ISBN |
978-3-642-15868-1 |
Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Nanoelektronik, SOI-Technik, Halbleitersubstrat, MOS-FET, CMOS, MEMS, Aufsatzsammlung |
DDC-Notation |
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Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Semiconductor-on-insulator materials for nanoelectronics applications |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:1111-20110303307 (URN) |
Weitere Angaben |
Lizenzpflichtig |
Datensatz-ID |
1010346911 |
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