Titel |
Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system / Ute Wenzel. Gutachter: D. Frank Ogletree ; Teodor P. Gotszalk. Betreuer: Ivo W. Rangelow |
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Beteiligt |
Ute Wenzel (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource |
Hochschulschrift |
Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
self-sensing
self-actuation piezoresistive cantilever AFM
SEM
SPM integrated system |
DDC-Notation |
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Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system |
Persistent Identifier |
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Datensatz-ID |
1034527770 |
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