Titel |
Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung / Michael Krause |
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Beteiligt |
Michael Krause (Verfasser) |
Erschienen |
Aachen: Shaker |
Umfang |
XII, 90, XXIV S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Halle (Saale), Univ., Diss., 2013 |
ISBN |
978-3-8440-2791-4 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Siliciumhalbleiter, Nanostruktur, Kristallgitter, Verzerrung, Ionenstrahlätzen, Elektronenrückstreubeugung |
DDC-Notation |
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Reihe |
Berichte aus der Physik |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung |
Datensatz-ID |
1050488652 |
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