Titel |
Mikro- und Nanostrukturierung mit kurz und ultrakurz gepulster Laserstrahlung / Karl-Heinz Leitz |
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Beteiligt |
Karl-Heinz Leitz (Verfasser) |
Erschienen |
Bamberg: Meisenbach |
Umfang |
VIII, 140 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2013 |
ISBN |
978-3-87525-355-9 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
Elektrotechnik, Elektronik |
Thema |
Lithografie (Halbleitertechnologie), Nanostruktur, Ultrakurzer Lichtimpuls, Optische Pinzette, Nahfeld |
DDC-Notation |
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Datensatz-ID |
1050607767 |
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