Titel |
Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors / Nils Rasmus Behnel |
|---|---|
Beteiligt |
Nils Rasmus Behnel (Verfasser) |
Erschienen |
Aachen: Shaker |
Ausgabe |
1. Aufl. |
Umfang |
Online-Ressource : 17 farb. Ill. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012 |
ISBN |
978-3-8440-0962-0 |
Sprache |
|
Land |
|
Themengebiet |
|
Thema |
Drucksensor, Siliciumcarbid, MEMS, Herstellung, CVD-Verfahren, Trockenätzen, Nassätzen, Kontaktieren |
DDC-Notation |
|
Reihe |
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 22 |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Technologieplattform für die Herstellung von MEMS aus Siliziumcarbid am Beispiel eines Drucksensors |
Persistent Identifier |
|
Weitere Angaben |
Lizenzpflichtig |
Datensatz-ID |
1069046191 |
Hinweis
Die Betaversion beinhaltet noch nicht alle Funktionen und Informationen des Katalogs des DNB-Portals. Falls Sie Informationen vermissen oder ein Medium bestellen wollen, besuchen Sie bitte die entsprechende Seite im Katalog des DNB-Portals über folgenden Link: