Titel |
Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib/Leseköpfe / Willyanto Kurniawan |
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Beteiligt |
Willyanto Kurniawan (Verfasser) |
Erschienen |
Aachen: Shaker |
Ausgabe |
1. Aufl. |
Umfang |
Online-Ressource : 44 farb. Ill. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Technische Universität Berlin, Diss., 2011 |
ISBN |
978-3-8440-0935-4 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
Elektrotechnik, Elektronik |
Thema |
Schreib-Lese-Kopf, MEMS, Mikroaktor, Silicium, Einkristall, Mikrofertigung, Verbindungstechnik |
DDC-Notation |
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Reihe |
Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Mikromechanik und Aufbautechnik zur Realisierung eines MEMS Aktuators für Festplattenspeicher-Schreib-Leseköpfe |
Persistent Identifier |
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Weitere Angaben |
Lizenzpflichtig |
Datensatz-ID |
1069046590 |
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