Titel |
Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner / Joachim Fritz |
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Beteiligt |
Joachim Fritz (Verfasser) |
Erschienen |
Aachen: Shaker |
Ausgabe |
1. Aufl. |
Umfang |
Online-Ressource : 77 Ill. |
Hochschulschrift |
Zugl.: Universität des Saarlandes, Saarbrücken, Diss., 2012 |
ISBN |
978-3-8440-0828-9 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
Elektrotechnik, Elektronik |
Thema |
MEMS, Mikrooptik, Scanner, Mikroaktor, Kammantrieb, Drehmomentregelung, SOI-Technik, Geräteentwicklung, Herstellung |
DDC-Notation |
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Reihe |
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS ; 21 |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner |
Persistent Identifier |
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Weitere Angaben |
Lizenzpflichtig |
Datensatz-ID |
1069047546 |
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