Titel |
Investigation of a magnetron enhanced AF plasma polymerization process for sensor coating = Untersuchung eines Magnetron-Angereicherten AF Plasma-Polymerisationsprozesses für Sensorbeschichtung |
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Beteiligt |
Loïc Ledernez (Verfasser) |
Erschienen |
Freiburg: Universität |
Umfang |
Online-Ressource |
Hochschulschrift |
Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2011 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Gasentladung |
Persistent Identifier |
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Datensatz-ID |
1123463263 |
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