Titel |
Microsystem in LTCC technology for measurements of gas concentration in a sub-ppm range / Tadeusz Pisarkiewicz, Wojciech Maziarz, Artur Rydosz, Jens Müller, Matthias Mach |
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Beteiligt |
Tadeusz Pisarkiewicz (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: TU Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2018110207265347156351 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Procedia engineering(5, 2010), S.1244-1247 |
Datensatz-ID |
1170400922 |
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