Titel |
Magnetron sputtered AlN layers on LTCC multilayer and silicon substrates / Heike Bartsch, Rolf Grieseler, Jose Mánuel, Jörg Pezoldt, Jens Müller |
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Beteiligt |
Heike Bartsch (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: TU Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
low temperature cofired ceramics |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2019111102190387334582 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Coatings(8, 2018), H. 8 |
Datensatz-ID |
1199265934 |
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