Titel |
Contact related failure detection of semiconductor layer stacks using an acoustic emission test method / Marianne Unterreitmeier |
|---|---|
Beteiligt |
Marianne Unterreitmeier (Verfasser) |
Erschienen |
Erlangen: FAU University Press |
Umfang |
xxiv, 234 Seiten : Illustrationen, Diagramme |
Hochschulschrift |
Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2019 |
ISBN |
978-3-96147-305-2 |
Sprache |
|
Land |
|
Themengebiet |
Elektrotechnik, Elektronik |
Thema |
Wafer, Halbleiterschicht, Schallemissionsanalyse, Rissbildung, Härteeindruck, Werkstoffschädigung, Halbleitertechnologie, Kontaktieren |
DDC-Notation |
|
Reihe |
FAU Forschungen. Reihe B, Medizin, Naturwissenschaft, Technik ; Band 33 |
Datensatz-ID |
1218552425 |
Hinweis
Die Betaversion beinhaltet noch nicht alle Funktionen und Informationen des Katalogs des DNB-Portals. Falls Sie Informationen vermissen oder ein Medium bestellen wollen, besuchen Sie bitte die entsprechende Seite im Katalog des DNB-Portals über folgenden Link: