Titel |
Fundamental Investigations in the Design of Five-Axis Nanopositioning Machines for Measurement and Fabrication Purposes |
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Beteiligt |
Ralf Schienbein (Verfasser)
Florian Fern (Verfasser) René Theska (Verfasser) Shraddha Supreeti (Verfasser) |
Erschienen in |
Nanomanufacturing and metrology 20.4.2021, Seite 1-9 |
Erschienen |
2021 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Nanotechnology and Microengineering. |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2021060622150428115868 (URN) |
Datensatz-ID |
1234908654 |
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