Titel |
Impact Resistance and Properties of (Cr,Al,Si)N Coatings Deposited by Gas Flow Sputtering with Pulsed DC Supply |
|---|---|
Beteiligt |
Kirsten Bobzin (Verfasser) |
Erschienen in |
Advanced engineering materials 31.10.2021 |
Erschienen |
31.10.2021 |
Sprache |
|
Land |
|
Thema |
(Cr
Al Si)N bipolar pulsed DC supply
gas flow sputtering
high speed physical vapor deposition impact resistance |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2021110114074764312321 (URN) |
Datensatz-ID |
1244785903 |
Hinweis
Die Betaversion beinhaltet noch nicht alle Funktionen und Informationen des Katalogs des DNB-Portals. Falls Sie Informationen vermissen oder ein Medium bestellen wollen, besuchen Sie bitte die entsprechende Seite im Katalog des DNB-Portals über folgenden Link: