Titel |
An in situ x-ray photoelectron spectroscopy study of the initial stages of rf magnetron sputter deposition of indium tin oxide on p-type Si substrate / M. H. Rein, M. V. Hohmann, Annett Thøgersen, Jeyanthinath Mayandi, Arve O. Holt, Andreas Klein, Eduard V. Monakhov |
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Beteiligt |
Margrethe Rein (Verfasser)
M. V. Hohmann (Verfasser) Annett Thøgersen (Verfasser) Jeyanthinath Mayandi (Verfasser) |
Erschienen |
Darmstadt: Universitäts- und Landesbibliothek |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:tuda-tuprints-198304 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Applied Physics Letters, 102, (2), AIP Publishing, ISSN 0003-6951, https://doi.org/10.26083/tuprints-00019830 |
Datensatz-ID |
124552934X |
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