Titel |
UV hyperspectral imaging as process analytical tool for the characterization of oxide layers and copper states on direct bonded copper / Mohammad Al Ktash, Mona Stefanakis, Tim Englert, Maryam Drechsel, Jan Stiedl, Simon Green, Timo Jacob, Barbara Boldrini, Edwin Ostertag, Karsten Rebner, Marc Brecht |
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Beteiligt |
Mohammad Al Ktash (Verfasser)
Mona Knoblich (Verfasser) Tim Englert (Verfasser) Maryam Drechsel (Verfasser)
Jan Stiedl (Verfasser)
Simon Green (Verfasser) Timo Jacob (Verfasser) Barbara Boldrini (Verfasser) Edwin Ostertag (Verfasser) Karsten Rebner (Verfasser) Marc Brecht (Verfasser) |
Erschienen |
Reutlingen: Hochschule Reutlingen |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
hyperspectral imaging
pushbroom UV spectroscopy principal component analysis
partial least squares regression
direct bonded copper copper oxide layer thickness |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:bsz:rt2-opus4-32949 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Sensors 21, 21, 7332 |
Datensatz-ID |
1247435164 |
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