Titel |
Neue Methoden und Konzepte für hochintegrierte Gas- und Drucksensoren / Vladislav Komenko ; Gutachter: Wolf-Joachim Fischer, Yvonne Joseph ; Betreuer: Wolf-Joachim Fischer |
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Beteiligt |
Vladislav Komenko (Verfasser) |
Erschienen |
Dresden: Technische Universität Dresden |
Umfang |
Online-Ressource |
Hochschulschrift |
Dissertation, Dresden, Technische Universität Dresden, 2021 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Silicon-On-Nothing
Infrarotemitter kohlenstoffbasierte Opferschichttechnik Drucksensor
druckempfindlicher Feldeffekttransistor
Silicon-on-nothing infrared emitter carbon-based sacrificial layer technology pressure sensor pressure-sensitive field-effect transistor |
Persistent Identifier |
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Datensatz-ID |
1250335795 |
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