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K. Watje, Hubert J. Krenner, Achim Wixforth u. a.

Piezoelectric ZnO films deposited by RF magnetron sputtering for microfluidic applications

Augsburg: Universität Augsburg u. a., 2009

Titel

Piezoelectric ZnO films deposited by RF magnetron sputtering for microfluidic applications / K. Watje, Hubert J. Krenner, Achim Wixforth, W. Assmann

Beteiligt

K. Watje (Verfasser)
Hubert J. Krenner (Verfasser)
Achim Wixforth (Verfasser)
W. Assmann (Verfasser)

Erschienen

Augsburg: Universität Augsburg
München: Maier-Leibnitz-Laboratory for Nuclear-, Particle- and Accelerator-Physics of the Ludwig-Maximilians-Universität München and the Technischen Universität München (MLL)
2009

Umfang

Online-Ressource

Sprache

Englisch

Land

Deutschland

Themen­gebiet

Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DDC-Notation

621.47

Persistent Identifier

urn:nbn:de:bvb:384-opus4-882866 (URN)

Weitere Angaben

In: MLL Jahresbericht 2008 Annual Report, S. 79-

Datensatz-ID

1258713594
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