Titel |
SiO 2 microstructure evolution during plasma deposition analyzed via ellipsometric porosimetry |
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Beteiligt |
Rahel Buschhaus (Verfasser) |
Erschienen in |
Plasma processes and polymers 17, 4, 2020 |
Erschienen |
12.03.2020 |
Sprache |
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Land |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022062306503933979584 (URN) |
Datensatz-ID |
1260639339 |
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