Titel |
Fundamental investigations in the design of five-axis nanopositioning machines for measurement and fabrication purposes / Ralf Schienbein, Florian Fern, René Theska, Shraddha Supreeti, Roland Füßl, Eberhard Manske |
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Beteiligt |
Ralf Schienbein (Verfasser)
Florian Fern (Verfasser) René Theska (Verfasser) Shraddha Supreeti (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: TU Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource, 9 Seiten |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Multiaxial nanopositioning and nanomanufacturing |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022070403073135767560 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Nanomanufacturing and metrology(4), H. 3, S.156-164 - ISSN 2520-8128 |
Datensatz-ID |
1261737245 |
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