Titel |
Tip- and laser-based 3D nanofabrication in extended macroscopic working areas / Ingo Ortlepp, Thomas Fröhlich, Roland Füßl, Johann Reger, Christoph Schäffel, Stefan Sinzinger, Steffen Strehle, René Theska, Lena Zentner, Jens-Peter Zöllner, Ivo W. Rangelow, Carsten Reinhardt, Tino Hausotte, Xinrui Cao, Oliver Dannberg, Florian Fern, David Fischer, Stephan Gorges, Martin Hofmann, Johannes Kirchner, Andreas Meister, Taras Sasiuk, Ralf Schienbein, Shraddha Supreeti, Laura Mohr-Weidenfeller, Christoph Weise, Christoph Reuter, Jaqueline Stauffenberg, Eberhard Manske |
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Beteiligt |
Ingo Ortlepp (Verfasser)
Thomas Fröhlich (Verfasser) Roland Füßl (Verfasser) Johann Reger (Verfasser)
Christoph Schäffel (Verfasser)
Stefan Sinzinger (Verfasser) Steffen Strehle (Verfasser) René Theska (Verfasser) Lena Zentner (Verfasser) Jens-Peter Zöllner (Verfasser) Ivo W. Rangelow (Verfasser) Carsten Reinhardt (Verfasser) Tino Hausotte (Verfasser) Xinrui Cao (Verfasser) Oliver Dannberg (Verfasser) Florian Fern (Verfasser) David Fischer (Verfasser) Stephan Gorges (Verfasser) Martin Hofmann (Verfasser) Johannes Kirchner (Verfasser) Andreas Meister (Verfasser) Taras Sasiuk (Verfasser) Ralf Schienbein (Verfasser) Shraddha Supreeti (Verfasser) Laura Mohr-Weidenfeller (Verfasser) Christoph Weise (Verfasser) Christoph Reuter (Verfasser) Jaqueline Stauffenberg (Verfasser) Eberhard Manske (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: TU Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource, 17 Seiten |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Nanomeasuring
Nanopositioning Nanomanufacturing Scale-spanning
Tip-based
Laser-based Nanofabrication |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022070403074619420195 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Nanomanufacturing and metrology(4), H. 3, S.132-148 - ISSN 2520-8128 |
Datensatz-ID |
1261737288 |
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