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Markus Brochhagen, Sascha Chur, Vincent Layes u. a.

Deposition of SiO x coatings by inductively coupled plasma: Effect of pulsed hexamethyldisiloxan flow

Erschienen in: Plasma processes and polymers 15, 4, 2018

Titel

Deposition of SiO x coatings by inductively coupled plasma: Effect of pulsed hexamethyldisiloxan flow

Beteiligt

Markus Brochhagen (Verfasser)
Sascha Chur (Verfasser)
Vincent Layes (Verfasser)
Marc Böke (Verfasser)
Jan Benedikt (Verfasser)

Erschienen in

Plasma processes and polymers 15, 4, 2018

Erschienen

23.01.2018

Sprache

Englisch

Land

Deutschland

Thema

HMDSO
ICP
PECVD
PET
thin films

Persistent Identifier

urn:nbn:de:101:1-2022081609020600832319 (URN)
10.1002/ppap.201700186 (DOI)

Datensatz-ID

1265497621
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