Titel |
Photoabsorption and damage of OSG low‐k films by VUV emission at 140–160 nm |
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Beteiligt |
Dmitry V. Lopaev (Verfasser)
Vladislav V. Rakhlinsky (Verfasser) Sergey M. Zyryanov (Verfasser) Yury A. Mankelevich (Verfasser)
Tatyana V. Rakhimova (Verfasser)
Konstantin A. Kurchikov (Verfasser) Mikhail R. Baklanov (Verfasser) |
Erschienen in |
Plasma processes and polymers 15, 3, 2018 |
Erschienen |
20.11.2017 |
Sprache |
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Land |
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Thema |
absorption |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022081805544612109757 (URN) |
Datensatz-ID |
1265674124 |
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