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Nicolas Kurz, Yuan Lu, Lutz Kirste u. a.

Temperature Dependence of the Pyroelectric Coefficient of AlScN Thin Films

Erschienen in: Physica status solidi. A, Applications and materials science 215, 13, 2018

Titel

Temperature Dependence of the Pyroelectric Coefficient of AlScN Thin Films

Beteiligt
Nicolas Kurz (Verfasser)
Yuan Lu (Verfasser)
Lutz Kirste (Verfasser)
Markus Reusch (Verfasser)
Agnė Žukauskaitė (Verfasser)
Vadim Lebedev (Verfasser)
Oliver Ambacher (Verfasser)

Erschienen in

Physica status solidi. A, Applications and materials science 215, 13, 2018

Erschienen

06.03.2018

Sprache

Englisch

Land

Deutschland

Thema

aluminum scandium nitride
magnetron sputtering
pyroelectric effect
pyroelectric properties
thin films

Persistent Identifier

urn:nbn:de:101:1-2022082306150122974638 (URN)
10.1002/pssa.201700831 (DOI)

Datensatz-ID

1266084800
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