Titel |
Impact of internal Faraday shields on RF driven hydrogen discharges / David Rauner, Dominikus Zielke, Stefan Briefi, Ursel Fantz |
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Beteiligt |
David Rauner (Verfasser) |
Erschienen |
Augsburg: Universität Augsburg |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
radio frequency discharge
hydrogen Faraday shield inductively coupled plasma
helicon
power transfer efficiency |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:bvb:384-opus4-979220 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Plasma, 5, 3, S. 280-294 |
Datensatz-ID |
126835483X |
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