Titel |
Comb-referenced metrology laser for interferometric length measurements in nanopositioning and nanomeasuring machines |
|---|---|
Beteiligt |
Ulrike Blumröder (Verfasser)
Paul Köchert (Verfasser) Jens Flügge (Verfasser) Roland Füßl (Verfasser) |
Erschienen in |
Technisches Messen : tm ; Sensoren, Geräte, Systeme ; Organ des AMA Fachverbands für Sensorik e.V. und der NAMUR, Normenarbeitsgemeinschaft für Mess- und Regelungstechnik der Chemischen Industrie 89, 10, 2022, Seite 687-703 |
Erschienen |
04.05.2022 |
Sprache |
|
Land |
|
Thema |
Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
Optische Frequenzkämme He-Ne Laser Rückführbarkeit
Laserstabilisierung
Nanopositioning- and nanomeasuring machines optical frequency comb He-Ne laser traceability laser stabilization |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022092214045007183637 (URN) |
Datensatz-ID |
1268675458 |
Hinweis
Die Betaversion beinhaltet noch nicht alle Funktionen und Informationen des Katalogs des DNB-Portals. Falls Sie Informationen vermissen oder ein Medium bestellen wollen, besuchen Sie bitte die entsprechende Seite im Katalog des DNB-Portals über folgenden Link: