Titel |
Simulation of laser ablation mechanism of silicon nitride by ultrashort pulse laser / Babak Soltani, Faramarz Hojati, Amir Daneshi, Bahman Azarhoushang |
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Beteiligt |
Babak Soltani (Verfasser) |
Erschienen |
Furtwangen: Hochschule Furtwangen |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Ultrashort pulse laser |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:bsz:fn1-opus4-59166 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Procedia CIRP 82.2019, S. 208-213 |
Datensatz-ID |
1269480995 |
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