Titel |
Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Iridium Oxide for Application in Miniaturized Neural Implants / Nicolai Simon, Maria Asplund, Thomas Stieglitz, Volker Bucher |
|---|---|
Beteiligt |
Nicolai Simon (Verfasser) |
Erschienen |
Furtwangen: Hochschule Furtwangen |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
|
Land |
|
Themengebiet |
|
Thema |
PE-ALD |
DDC-Notation |
|
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:bsz:fn1-opus4-78265 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Current Directions in Biomedical Engineering 7.2021, 2, S. 539-542 |
Datensatz-ID |
1269481975 |
Hinweis
Die Betaversion beinhaltet noch nicht alle Funktionen und Informationen des Katalogs des DNB-Portals. Falls Sie Informationen vermissen oder ein Medium bestellen wollen, besuchen Sie bitte die entsprechende Seite im Katalog des DNB-Portals über folgenden Link: