Titel |
Measurement precision of a planar nanopositioning machine with a range of motion of Ø100 mm / Jaqueline Stauffenberg, Ingo Ortlepp, Johannes Belkner, Denis Dontsov, Enrico Langlotz, Steffen Hesse, Ivo W. Rangelow, Eberhard Manske |
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Beteiligt |
Jaqueline Stauffenberg (Verfasser)
Ingo Ortlepp (Verfasser) Johannes Belkner (Verfasser) Denis Dontsov (Verfasser)
Enrico Langlotz (Verfasser)
Steffen Hesse (Verfasser) Ivo W. Rangelow (Verfasser) Eberhard Manske (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: TU Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource, 14 Seiten |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
nanopositioning machine |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022101003071237707820 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Applied Sciences(12), H. 15, S.1-14 - ISSN 2076-3417 |
Datensatz-ID |
1269852450 |
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