Titel |
Localized direct material removal and deposition by nanoscale field emission scanning probes / Martin Hofmann, Mathias Holz, Harald Plank, Steffen Strehle |
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Beteiligt |
Martin Hofmann (Verfasser) |
Erschienen |
Ilmenau: TU Ilmenau |
Umfang |
Online-Ressource, 5 Seiten |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Electron beam induced processing
Scanning probe Removal Etching
Deposition
Field-emission |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022110702062508099279 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Micro and nano engineering(16), S.1-5 - ISSN 2590-0072 |
Datensatz-ID |
1272136256 |
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