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Annina M. Steinbach, Tanja Sandner, Boris Mizaikoff u. a.

Gas phase silanization for silicon nanowire sensors and other lab‐on‐a‐chip systems

Erschienen in: Physica status solidi : pss. C, Current topics in solid state physics 13, 4, 2016

Titel

Gas phase silanization for silicon nanowire sensors and other lab‐on‐a‐chip systems

Beteiligt

Annina M. Steinbach (Verfasser)
Tanja Sandner (Verfasser)
Boris Mizaikoff (Verfasser)
Steffen Strehle (Verfasser)

Erschienen in

Physica status solidi : pss. C, Current topics in solid state physics 13, 4, 2016, Seite 135-141

Erschienen

19.11.2015

Sprache

Englisch

Land

Deutschland

Thema

microfabrication
silicon nanowire sensor
surface modification
organosilane

Persistent Identifier

urn:nbn:de:101:1-2022111104372365761923 (URN)
10.1002/pssc.201510211 (DOI)

Datensatz-ID

1272514730
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