Sachbegriff |
Lithografieoptik |
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Oberbegriff |
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Beziehung |
Lithografie (Halbleitertechnologie) (verwandter Begriff) |
Themengebiet |
Elektrizität, Magnetismus, Optik |
Quelle |
Website: https://www.zeiss.de/corporate/ueber-zeiss/geschichte/technische-meilensteine/lithografieoptik.html (Stand: 07.12.2022) |
Datensatztyp |
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GND-Nummer |
1274867517 |
Datensatz-ID |
1274867517 |
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