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Andreas Stegmüller und Ralf Tonner-Zech

A Quantum Chemical Descriptor for CVD Precursor Design: Predicting Decomposition Rates of TBP and TBAs Isomers and Derivatives †

Erschienen in: Chemical vapor deposition : CVD 21, 7-8-9, 2015

Titel

A Quantum Chemical Descriptor for CVD Precursor Design: Predicting Decomposition Rates of TBP and TBAs Isomers and Derivatives †

Beteiligt

Andreas Stegmüller (Verfasser)
Ralf Tonner-Zech (Verfasser)

Erschienen in

Chemical vapor deposition : CVD 21, 7-8-9, 2015, Seite 161-165

Erschienen

23.09.2015

Sprache

Englisch

Land

Deutschland

Thema

Precursor design
density functional theory
Gas‐phase reactions
beta‐hydrogen elimination
partial charges

Persistent Identifier

urn:nbn:de:101:1-2022121705540403383495 (URN)
10.1002/cvde.201504332 (DOI)

Datensatz-ID

1275830684
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