Titel |
Damage to OSG low‐ k films during IPVD deposition of the Ta barrier layer |
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Beteiligt |
Alexander O. Serov (Verfasser)
Alexey N. Ryabinkin (Verfasser) Alexey S. Vishnevskiy (Verfasser) Sergej Naumov (Verfasser)
Alexander F. Pal (Verfasser)
Tatyana V. Rakhimova (Verfasser) Dmitry S. Seregin (Verfasser) Konstantin A. Vorotilov (Verfasser) Mikhail R. Baklanov (Verfasser) |
Erschienen in |
Plasma processes and polymers 22.12.2022 |
Erschienen |
22.12.2022 |
Sprache |
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Land |
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Thema |
absorption |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2022122314031187286853 (URN) |
Datensatz-ID |
1276458495 |
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