Titel |
Influence of plasma treatments on the properties of GaN/AlGaN/GaN HEMT structures |
|---|---|
Beteiligt |
Stefanie Linkohr (Verfasser)
Wilfried Pletschen (Verfasser) Vladimir Polyakov (Verfasser) Marcel Himmerlich (Verfasser)
Pierre Lorenz (Verfasser)
Stefan Krischok (Verfasser) Lutz Kirste (Verfasser) Stefan Müller (Verfasser) Oliver Ambacher (Verfasser) Volker Cimalla (Verfasser) |
Erschienen in |
Physica status solidi : pss. C, Current topics in solid state physics 9, 3‐4, 2012, Seite 1096-1098 |
Erschienen |
15.03.2012 |
Sprache |
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Land |
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Thema |
plasma treatment |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2023022007043279237404 (URN) |
Datensatz-ID |
128142871X |
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