Titel |
Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS / Stefan Böhm, Klaus Dilger, Annika Raatz, Gregor Hemken, Sven Rathmann |
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Beteiligt |
Stefan Böhm (Verfasser) |
Erschienen |
Hannover: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
MEMS |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2023032117282014823608 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Hemken, G.; Rathmann, S.: Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS. In: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe. Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007 (GMM-Fachbericht ; 53), S. 155-162 |
Datensatz-ID |
1284020657 |
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