Titel |
Metal‐Organic Chemical Vapor Deposition of Aluminum Yttrium Nitride |
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Beteiligt |
Stefano Leone (Verfasser) |
Erschienen in |
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Erschienen |
28.04.2023 |
Sprache |
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Land |
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Thema |
AlYN
high electron mobility transistors (HEMTs) metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) wurtzite
YAlN
yttrium |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2023042915110204464051 (URN) |
Datensatz-ID |
1287429432 |
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