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Hai Binh Phi, Sebastian Bohm, Erich Runge u. a.

3D passive microfluidic valves in silicon and glass using grayscale lithography and reactive ion etching transfer

Erschienen in: Microfluidics and nanofluidics 27, 8, 22.7.2023, date:8.2023

Titel

3D passive microfluidic valves in silicon and glass using grayscale lithography and reactive ion etching transfer

Beteiligt
Hai Binh Phi (Verfasser)
Sebastian Bohm (Verfasser)
Erich Runge (Verfasser)
Lars Dittrich (Verfasser)
Steffen Strehle (Verfasser)
SpringerLink (Online service) (Sonstige)

Erschienen in

Microfluidics and nanofluidics 27, 8, 22.7.2023, date:8.2023, Seite 1-12

Erschienen

2023

Sprache

Englisch

Land

Deutschland

Themen­gebiet

Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Thema

Engineering Fluid Dynamics.
Biomedical Engineering and Bioengineering.
Analytical Chemistry.
Microsystems and MEMS.

DDC-Notation

620.5

Persistent Identifier

urn:nbn:de:101:1-2023110209165852620206 (URN)
10.1007/s10404-023-02663-2 (DOI)

Datensatz-ID

1308321023
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