Titel |
Study the effect of high temperature firing process on passivation mechanism of hydrogenated amorphous SiNx:H layers with focus on hydrogen effusion measurements / Sahar Lausch ; Gutachter: Jörg Schilling, Ralf B. Wehrspohn, Johannes Heitmann |
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Beteiligt |
Sahar Lausch (Verfasser) |
Erschienen |
Halle (Saale): Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt |
Umfang |
Online-Ressource |
Hochschulschrift |
Dissertation, Halle (Saale), Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, 2023 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
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DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:gbv:3:4-1981185920-1134732 (URN) |
Datensatz-ID |
1308857462 |
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