Titel |
Charakterisierung eines parallelkinematisch aktuierten In-situ -Referenzmesssystems für 5D-Nanomess- und Fabrikationsanwendungen |
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Beteiligt |
Johannes Leineweber (Verfasser)
Roman Hebenstreit (Verfasser) Annika-Verena Häcker (Verfasser) Christoph Meyer (Verfasser) |
Erschienen in |
Technisches Messen : tm ; Sensoren, Geräte, Systeme ; Organ des AMA Fachverbands für Sensorik e.V. und der NAMUR, Normenarbeitsgemeinschaft für Mess- und Regelungstechnik der Chemischen Industrie 91, 2, 2024, Seite 102-115 |
Erschienen |
03.01.2024 |
Sprache |
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Land |
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Thema |
nano measuring machine
nano fabrication NPMM NMM-5D
spherical kinematics
In-situ reference measuring system Nanomessmaschine Nanofabrikation NPMM NMM-5D sphärische Kinematik In-situ -Referenzmesssystem |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2024012713052849580793 (URN) |
Datensatz-ID |
1317426177 |
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