Titel |
Precisely controlled batch-fabrication of highly sensitive co-resonant cantilever sensors from silicon-nitride / Ioannis Lampouras, Mathias Holz, Steffen Strehle, Julia Körner |
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Beteiligt |
Ioannis Lampouras (Verfasser) |
Erschienen |
Hannover: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover |
Umfang |
Online-Ressource |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
batch-fabrication
cantilever sensors co-resonant sensitivity enhancement geometric eigenfrequency matching
microcantilever and high aspect ratio nanocantilever
microfabrication silicon nitride MEMS |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2024041102323216264257 (URN) |
Weitere Angaben |
In: Lampouras, I.; Holz, M.; Strehle, S.; Körner, J.: Precisely controlled batch-fabrication of highly sensitive co-resonant cantilever sensors from silicon-nitride. In: Journal of Micromechanics and Microengineering 34 (2024), Nr. 1, 015005. DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6439/ad0d80 |
Datensatz-ID |
1325796654 |
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