Titel |
A New Kind of Atomic Force Microscopy Scan Control Enabled by Artificial Intelligence: Concept for Achieving Tip and Sample Safety Through Asymmetric Control |
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Beteiligt |
Johannes Degenhardt (Verfasser)
Mohammed Wassim Bounaim (Verfasser) Nan Deng (Verfasser) Rainer Tutsch (Verfasser)
Gaoliang Dai (Verfasser)
SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
Erschienen in |
Nanomanufacturing and metrology 7, 1, 16.4.2024, date:12.2024, Seite 1-10 |
Erschienen |
2024 |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Thema |
Microsystems and MEMS. |
DDC-Notation |
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Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2406282112398.195510811011 (URN) |
Datensatz-ID |
1334350892 |
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