Titel |
In Situ X‐Ray Photoelectron Spectroscopy Study of Atomic Layer Deposited Cerium Oxide on SiO 2: Substrate Influence on the Reaction Mechanism During the Early Stages of Growth |
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Beteiligt |
Carlos Morales (Verfasser)
Max Gertig (Verfasser) Małgorzata Kot (Verfasser) Carlos Alvarado (Verfasser)
Markus Andreas Schubert (Verfasser)
Marvin Hartwig Zoellner (Verfasser) Christian Wenger (Verfasser) Karsten Henkel (Verfasser) Jan Ingo Flege (Verfasser) |
Erschienen in |
Advanced materials interfaces 31.10.2024 |
Erschienen |
31.10.2024 |
Sprache |
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Land |
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Thema |
ALD |
Persistent Identifier |
urn:nbn:de:101:1-2410311324021.143504760192 (URN) |
Datensatz-ID |
1346825459 |
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