Titel |
Untersuchung der elektronenoptischen Eigenschaften von Ablenksystemen für die Anwendung elektronenlithographischer Bildaufzeichnung |
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Beteiligt |
Gerhard Kilger (Verfasser) |
Erschienen |
1980 |
Umfang |
87 S. : Ill., graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Tübingen, Univ., Fak. für Physik, Diss., 1980. |
Themengebiet |
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Datensatz-ID |
801330041 |
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