Titel |
Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren : Forschungsvorhaben NT 26970 d. Fraunhofer-Einrichtungen / FhG, Fraunhofer-Ges., Inst. für Produktionstechnik u. Automatisierung (IPA), Stuttgart ; Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen (AIS), Erlangen. Autoren Rolf-Dieter Schraft ... |
---|---|
Beteiligt |
Rolf Dieter Schraft (Verfasser) |
Erschienen |
Stuttgart: IPA |
Umfang |
313, 40 S. : Ill., graph. Darst. |
Sprache |
|
Themengebiet |
|
Datensatz-ID |
860908666 |
Die Betaversion beinhaltet noch nicht alle Funktionen und Informationen des Katalogs des DNB-Portals. Falls Sie Informationen vermissen oder ein Medium bestellen wollen, besuchen Sie bitte die entsprechende Seite im Katalog des DNB-Portals über folgenden Link: