Titel |
Schicht-, Oberflächen- und Halbleitertechnologie : Physik, Praeparation, Analyse & Charakterisierung ; Auswahl aus dem Monographienbestand der Zentralbibliothek der Kernforschungsanlage Jülich / [hrsg. von d. Kernforschungsanlage Jülich GmbH, Zentralbibliothek] |
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Beteiligt |
Kernforschungsanlage Jülich. Zentralbibliothek (Herausgebendes Organ) |
Erschienen |
Jülich: Kernforschungsanlage, Zentralbibliothek |
Umfang |
202 S. |
ISBN |
978-3-89336-017-8 |
Sprache |
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Themengebiet |
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Reihe |
Bibliographien / KFA |
Datensatz-ID |
890924201 |
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