Titel |
Zur Temperaturabhängigkeit von Plasma-Wand-Wechselwirkungsvorgängen beim anisothermen Plasma-Processing |
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Beteiligt |
Holger Kersten (Verfasser) |
Erschienen |
1990 |
Umfang |
105, [30] Bl. : graph. Darst. |
Hochschulschrift |
Greifswald, Univ., Diss. A, 1990 (Nicht f.d. Austausch) |
Sprache |
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Land |
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Themengebiet |
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Datensatz-ID |
900890622 |
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