Titel |
Kalte Plasmen : Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen / Gerhard Franz |
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Beteiligt |
Gerhard Franz (Verfasser) |
Erschienen |
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo, Hong Kong, Barcelona, Budapest: Springer |
Umfang |
X, 295 S. : Ill., graph. Darst. |
ISBN |
978-3-540-53160-9 |
Sprache |
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Themengebiet |
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Thema |
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Frühere / spätere Titel |
2. Aufl. u.d.T.:: Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik |
Andere Ausgaben |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Kalte Plasmen : Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen |
Weitere Angaben |
Literaturverz. S. 274 - 285 |
Datensatz-ID |
901425311 |
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