Titel |
Ionen- und Plasma-Oberflächentechnik : Berichte aus dem DFG-Schwerpunktprogramm ; Kolloquium, 5. April 1993, Technische Hochschule Darmstadt |
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Beteiligt |
Technische Hochschule Darmstadt (Herausgebendes Organ) |
Erschienen |
Weinheim: VCH |
Umfang |
S. A 26 - A 34, 74 - 168 : Ill., graph. Darst. |
Themengebiet |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Thema |
PVD-Verfahren, Kongress, Darmstadt <1993> |
Teil von |
Materials science and engineering technology = Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ; Jg. 24, Nr. 3/4 |
Weitere Angaben |
Literaturangaben |
Datensatz-ID |
944027202 |
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